[实用新型]一种黑硅的自动生成装置有效
| 申请号： | 201920075491.4 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN209476582U | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 方超;蒋健;朱姚培;赵江华 | 申请（专利权）人： | 江苏荣马新能源有限公司 |
| 主分类号： | B05C3/109 | 分类号： | B05C3/109;B05C11/10 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 223700 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了属于黑硅加工设备技术领域的一种黑硅的自动生成装置，包括生产箱、放置架和分子泵，所述生产箱的内部固定有反应架，所述反应架的内部放置有注入鞘层，所述生产箱的内部底端固定有加热器，所述生产箱的一端固定有进气管；通过载重架可将需加工的硅片进行悬挂，并且通过连接的滑车在丝杠上进行滑动，并将硅片送入反应架中进行加工生成，硅片上料下料操作简单，省时省力，同时无需对生产箱进行冷却或者重新启动，节能减排，为用户使用带来了便利，通过分子泵运行可将排气管中的废气进行压缩，进而加快了排气管中废气的流速，提高了该装置的排气降压的性能，确保该装置正常进行加工使用。 | ||
| 搜索关键词： | 生产箱 硅片 黑硅 自动生成装置 分子泵 排气管 废气 加工 固定有加热器 本实用新型 加工设备 节能减排 内部固定 用户使用 滑车 滑动 放置架 进气管 载重架 降压 底端 排气 鞘层 上料 省力 省时 丝杠 下料 冷却 送入 悬挂 压缩 便利 | ||
【主权项】：
1.一种黑硅的自动生成装置，包括生产箱(2)、放置架(11)和分子泵(14)，其特征在于：所述生产箱(2)的内部固定有反应架(4)，所述反应架(4)的内部放置有注入鞘层(5)，所述生产箱(2)的内部底端固定有加热器(6)，所述生产箱(2)的一端固定有进气管(1)，且进气管(1)贯穿所述生产箱(2)，所述生产箱(2)的顶端固定有排气管(3)，且排气管(3)贯穿所述生产箱(2)，所述放置架(11)安装固定在所述反应架(4)的一侧，所述放置架(11)的一端固定有载重架(10)，所述反应架(4)的内侧固定有网格板(12)，所述网格板(12)的顶端固定有滑轨(13)，所述反应架(4)的一端固定有等离子发射器(7)，所述分子泵(14)安装固定在所述排气管(3)的一端，所述分子泵(14)远离所述排气管(3)的一端固定有废气处理器(16)。
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