[实用新型]一种黑硅的自动生成装置

说明书

本实用新型公开了属于黑硅加工设备技术领域的一种黑硅的自动生成装置，包括生产箱、放置架和分子泵，所述生产箱的内部固定有反应架，所述反应架的内部放置有注入鞘层，所述生产箱的内部底端固定有加热器，所述生产箱的一端固定有进气管；通过载重架可将需加工的硅片进行悬挂，并且通过连接的滑车在丝杠上进行滑动，并将硅片送入反应架中进行加工生成，硅片上料下料操作简单，省时省力，同时无需对生产箱进行冷却或者重新启动，节能减排，为用户使用带来了便利，通过分子泵运行可将排气管中的废气进行压缩，进而加快了排气管中废气的流速，提高了该装置的排气降压的性能，确保该装置正常进行加工使用。

技术领域

本实用新型属于黑硅加工设备技术领域，具体涉及一种黑硅的自动生成装置。

背景技术

黑硅是最新研究发现的一种能大幅提高光电转换效率的新型电子材料，黑硅就是把硅片弄成黑色，硅片还是原来的硅片，在表面用涂料做一层涂层，可以大量减少反射，这样硅片看起来就是黑色的了。制法就是刷涂层，让表面有一颗一颗的凸起，涂层的主要成份是二氧化硅。

现有的黑硅的自动生成装置还存在一些不足之处，该装置在进行使用的过程中，硅片上下料操作麻烦，费时费力，影响该装置生产加工作业的工作效率，为用户使用带来了不便。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种黑硅的自动生成装置，具有使用便利，操作简单，节能环保的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种黑硅的自动生成装置，包括生产箱、放置架和分子泵，所述生产箱的内部固定有反应架，所述反应架的内部放置有注入鞘层，所述生产箱的内部底端固定有加热器，所述生产箱的一端固定有进气管，且进气管贯穿所述生产箱，所述生产箱的顶端固定有排气管，且排气管贯穿所述生产箱，所述放置架安装固定在所述反应架的一侧，所述放置架的一端固定有载重架，所述反应架的内侧固定有网格板，所述网格板的顶端固定有滑轨，所述反应架的一端固定有等离子发射器，所述分子泵安装固定在所述排气管的一端，所述分子泵远离所述排气管的一端固定有废气处理器。

作为本实用新型的优选技术方案，所述反应架的顶端固定有安装片，且安装片通过焊接固定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述放置架的顶端固定有滑车，且滑车通过焊接固定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述载重架的顶端固定有限位销，且限位销通过焊接固定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述网格板的顶端固定有支撑杆，且支撑杆通过螺钉固定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述废气处理器的内部固定有滤芯，且滤芯通过螺栓固定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述载重架的底端固定有滑槽，且滑槽通过焊接固定。

作为本实用新型的优选技术方案，所述排气管的内部底端固定有汽液过滤网板，且汽液过滤网板通过螺纹固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过安装了载重架和滑车，通过载重架可将需加工的硅片进行悬挂，并且通过连接的滑车在丝杠上进行滑动，并将硅片送入反应架中进行加工生成，硅片上料下料操作简单，省时省力，同时无需对生产箱进行冷却或者重新启动，节能减排，为用户使用带来了便利；

2、本实用新型通过分子泵和废气处理，通过分子泵运行可将排气管中的废气进行压缩，进而加快了排气管中废气的流速，提高了该装置的排气降压的性能，确保该装置正常进行加工使用，并且通过废气处理器，可对废气中相关化学物质成分进行中和过滤，避免其污染大气环境，节能环保。

附图说明