[实用新型]一种视窗保护机构及蚀刻设备有效
| 申请号： | 201920044229.3 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN209522927U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张阳圣 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F4/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种视窗保护机构，包括用于安装视窗且具有滑动槽的第一安装板、用于选择性遮挡视窗且通过滑动槽与第一安装板滑动连接的挡板、以及用于驱动挡板的移动以实现挡板对视窗的选择性遮挡的驱动机构。本申请采用驱动机构带动挡板的移动，使得挡板在遮挡视窗和不遮挡视窗的两种状态间切换，当需要通过视窗观看蚀刻设备内的蚀刻状态时选择将挡板不遮挡视窗，使用者可通过视窗观察内部反应状态，当不需要观察蚀刻设备的内部使用状态时选择将挡板遮挡视窗，此时挡板能够避免蚀刻过程中等离子体对视窗的轰击和腐蚀，也即避免了非观察状态下视窗的雾化，因此能有效避免视窗在蚀刻过程中的雾化问题，进而降低了设备的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 视窗 挡板 蚀刻 遮挡 蚀刻设备 选择性遮挡 保护机构 驱动机构 安装板 滑动槽 中等离子体 反应状态 观察状态 滑动连接 雾化问题 状态时 移动 观察 轰击 申请 雾化 腐蚀 驱动 观看 | ||
【主权项】：
1.一种视窗保护机构，其特征在于，包括：第一安装板，用于安装视窗，所述第一安装板开设有滑动槽；挡板，用于选择性遮挡视窗，所述挡板通过所述滑动槽与所述第一安装板滑动连接；驱动机构，用于驱动所述挡板的移动以实现所述挡板对视窗的选择性遮挡。
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