[发明专利]一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用

摘要

本发明提供了一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用，属于金属靶材技术领域。本发明将基管依次进行喷砂和打底喷涂处理后，围绕其中心轴旋转，并采用等离子喷枪中的等离子体作为热源将硅磷合金粉末加热至熔化状态，同时将等离子喷枪边进行喷涂边相对基管沿基管的中心轴的方向往复运动，制得半成品靶材，再将半成品靶材经机加工制得旋转硅磷合金靶材。本发明通过采用由硅和红磷制备而成的硅磷合金粉末以及在等离子喷涂过程中在基管内通冷却液，确保了制备过程的安全性，且制得的旋转硅磷合金靶材密度高、电阻率低、氧含量低，填补了异质结太阳能电池行业所需硅磷靶材的空白。另外，本发明制备方法工艺简单，适合工业化生产。