[发明专利]一种脊型波导器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201911423783.3 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111082317A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州辰睿光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/22 | 分类号： | H01S5/22;H01S5/042 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周卫赛 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种脊型波导器件，包括半导体本体，包括用于产生电磁辐射的有源层，半导体本体的第一表面向外凸出形成的脊型部；脊型部具有顶部表面以及两个竖向壁面；绝缘层，避开脊型部的顶部表面覆盖脊型部的两个竖向壁面和半导体本体的第一表面；覆盖第一表面的绝缘层由第一绝缘介质层和第二绝缘介质层交替层叠形成；金属电极包括位于顶部表面的第一电极及向竖向壁面的外侧延伸至第一表面上方的金属连接部。脊型波导器件通过层叠设置的绝缘层使位于第一表面上绝缘层的厚度增加，相对减小了脊型部的高度，提高了金属电极在竖向壁面外侧延伸的连续性。本发明还公开了脊型波导器件的制备方法，适于制备上述成本低、连接良率高的器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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