[发明专利]一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系

摘要

一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，涉及薄膜镀制技术领域，包括金属基材，其镀膜面依次镀有第一辅助膜层、高反射银膜层、第二辅助膜层、低折射率涂层以及高折射率涂层，其中，第一、第二辅助膜层都是采用共同溅射工艺所镀金属:氮化硅(Me:Si)NX化合物，是多功能性综合辅助层，可提供附着促进、扩散阻挡以及防氧化的作用，保证该高反射镜面涂层膜系在高温和腐蚀环境条件下具有耐用高、可靠性高等优点。作为优选，第一、第二辅助膜层中的金属或金属合金相同。作为优选，第一辅助膜层与高反射银膜层之间还设有金属界面层，用于进一步抑制银原子的横向迁移。