[发明专利]一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系

权利要求书

1.一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系,包括具有至少一镀膜面的金属基材，其特征在于:所述镀膜面从内至外依次镀有以下层:

第一辅助膜层，选用第一金属:氮化硅(Me₁:Si)N_X化合物；其中，Me₁表示第一金属或第一金属合金，Si表示硅或硅合金，(Me₁:Si)表示Me₁与Si之间的比例，指数X表示氮元素N的反应系数；

高反射银膜层，选用银合金或者纯度至少为3N的银；

第二辅助膜层，选用第二金属:氮化硅(Me₂:Si)N_X化合物；其中，Me₂表示第二金属或第二金属合金，Si表示硅或硅合金，(Me₂:Si)表示Me₂与Si之间的比例，指数X表示氮元素N的反应系数；

低折射率涂层；

高折射率涂层。

2.如权利要求1所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述第一辅助膜层与高反射银膜层之间还设有金属界面层。

3.如权利要求2所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述金属界面层优选为第一金属或第一金属合金层。

4.如权利要求1所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述第一金属与第二金属为同一种金属或金属合金。

5.如权利要求1至4任一所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述第一辅助膜层和第二辅助膜层可以各自为钛:氮化硅(Ti:SiAl)N_X化合物，铬:氮化硅(Cr:SiAl)N_X化合物，镍铬合金:氮化硅(NiCr:SiAl)N_X化合物或者镍钒合金:氮化硅(NiV:SiAl)N_X化合物中的任意一种。

6.如权利要求1所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:比例(Me₁:Si)与比例(Me₂:Si)各自可以被调整到纯金属为主导，纯硅/硅合金为主导或者前两者之间的任意混合比例。

7.如权利要求6所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:比例(Me₁:Si)与比例(Me₂:Si)各自优选介于10%:90%至60%:40%之间的任意比例，使各自化合物的结构为非晶状态或者至少为微晶嵌入的非晶状态。

8.如权利要求1所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述第一辅助膜层的厚度在2nm至50nm之间，高反射银膜层的厚度在30nm到200nm之间，第二辅助膜层的厚度在0.5nm至20nm之间。

9.如权利要求1所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述金属基材的镀膜面具有使其表面光滑和/或增加表面硬度的基材表面处理层。

10.如权利要求1所述的一种耐高温且防腐的高反射镜面涂层膜系，其特征在于:所述第一辅助膜层是厚度在10nm至30nm之间且比例(NiCr:SiAl)为50%:50%的镍铬合金:氮化硅(NiCr:SiAl)N_X化合物；所述高反射银膜层是厚度在80nm到120nm之间且纯度至少3N的银；所述第二辅助膜层是厚度为3nm且比例(NiCr:SiAl)在10%:90%至60%:40%之间的镍铬合金:氮化硅(NiCr:SiAl)N_X化合物，或者是厚度在2nm至5nm之间且比例(Cr:SiAl)在10%:90%至60%:40%之间的铬:氮化硅(Cr:SiAl)N_X化合物。