[发明专利]一种带自动光阑的离子源系统及离子束加工系统在审
| 申请号： | 201911407475.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111081513A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长沙埃福思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/20;H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市开福区青竹湖街道*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一带自动光阑的离子源系统及离子束加工系统，该加工系统包括带自动光阑的离子源系统，其特征在于，通过自动调节光阑大小并可完全闭合光阑，能改变离子束的大小，还能控制离子束的有无，因此在一次离子束加工结束后，无需打开真空腔，手动更换光阑，节约了成本，提高了稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 光阑 离子源 系统 离子束 加工 | ||
【主权项】：
暂无信息
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