[发明专利]一种带自动光阑的离子源系统及离子束加工系统

权利要求书

1.一种离子束自动光阑，包括离子源(71)和自动光阑(72)，其特征是自动光阑(72)位于离子源(71)发射出的离子束路径上并可自动调节光阑孔径，从而调节下游离子束的束径。

2.根据权利要求1所述的一种离子束自动光阑，其特征在于，自动光阑(72)包括驱动控制单元(721)及与其连接的传动小齿轮(722)；传动齿轮(723)与传动小齿轮(722)相互啮合；传动齿轮(723)盘面设置有平面矩形螺纹A，活动爪(724)底面设置有与平面矩形螺纹A相互啮合的平面矩形螺纹B；挡片(725)沿圆周均匀对称分布并与活动爪(724)连接；壳体(726)约束活动爪(724)沿径向滑动。

3.根据权利要求1所述的一种离子束自动光阑，其特征在于，自动光阑(72)包括驱动控制单元(721)及与之连接的传动小齿轮(722)；传动齿轮(727)与传动小齿轮(722)相互啮合；旋转壳体(7210)与传动齿轮(727)连接；光圈叶片(728)其一端与固定环(729)连接，另一端与旋转壳体(7210)连接。

4.根据权利要求2所述的一种离子束自动光阑，其特征是所述自动光阑(72)可以调节至完全闭合，从而控制离子束的有无。

5.根据权利要求3所述的一种离子束自动光阑，其特征是所述自动光阑(72)可以调节至完全闭合，从而控制离子束的有无。

6.一种带自动光阑的离子源系统，其特征是在离子源系统中应用了权利要求1至5中的任一离子束自动光阑。

7.一种带自动光阑的离子束加工系统，其特征是离子束加工系统采用了权利要求6的带自动光阑的离子源系统。

8.根据权利要求7所述一种带自动光阑的离子束加工系统，其特征是所述离子束加工系统包括通过插板阀(4)可相互连通或关闭的主真空室(8)与副真空室(1)；主真空室(8)中设置有带自动光阑的离子源(7)以及用于带动离子源(7)运动的离子源运动系统(6)；副真空室(1)中设置有工件(2)的加工工位以及驱动工位运动的工件运动系统(5)。

9.根据权利要求8所述一种带自动光阑的离子束加工系统，其特征是所述离子源运动系统(6)包括由X向运动单元(61)、Y向运动单元(62)、Z向运动单元(63)组成的直线运动系统和由A向转动单元(64)和B向转动单元(65)组成的转动系统。