[发明专利]晶圆卡盘

摘要

本发明提供一种晶圆卡盘，底座包括轨道；旋转轮位于底座上，且与底座活动连接；滑块与轨道对应设置，且位于轨道中；晶圆限位件与滑块对应设置，并与滑块固定连接，以构成中心对称图形，且对称中心与旋转轮的中心位于同一轴线上；驱动器与旋转轮相连接；连接杆与旋转轮及滑块活动连接，从而通过驱动器驱动旋转轮旋转，旋转轮通过连接杆带动滑块运行，以驱使多个晶圆限位件沿径线同步运行，在确保对晶圆固定的同时，使晶圆的中心与旋转轮的中心始终位于同一轴线上，从而在对晶圆进行夹持或卸载时，以及在将晶圆卡盘与旋转轴件连接时，均可实现对晶圆的对心操作，提高晶圆的位置稳定性，获得高质量的晶圆。