[发明专利]多重图案化光罩版图的生成方法和设备及计算机可读介质有效
| 申请号： | 201911401569.8 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111159969B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 全芯智造技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392;G03F1/36;G03F1/70 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔卿虎 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本文描述了多重图案化光罩版图的生成方法和设备及计算机可读介质。在此描述的用于多重图案化的光罩版图的生成方法包括：从接收的设计版图的图案单元中，分配所述图案单元的与划分的第一层级相对应的第一层级单元；对所述第一层级单元执行版图拆解，以生成经拆解的第一层级的子单元集合；对所述第一层级的子单元集合执行校正处理，以生成第一层级的校正子单元集合；以及基于所述第一层级的校正子单元集合来生成所述光罩版图。还描述了电子设备和计算机可读介质。根据本公开的实施例，能够提高版图拆解与校正处理的一致性并且缩短生成多重图案化的光罩版图所需要的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 图案 化光罩 版图 生成 方法 设备 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】：
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