[发明专利]电阻测试结构及方法在审
| 申请号： | 201911386695.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113125853A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 蒋乐乐;陆宇;马松;沈立 | 申请（专利权）人： | 海安集成电路技术创新中心;海安芯润集成电路科技有限公司;上海北京大学微电子研究院 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226602 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了通孔电阻测试结构及方法，以提高通孔电阻的测试精确度。该测试结构包括至少两个子测试结构，所述子测试结构是一条通孔链，包含有多个通孔单元及连接通孔单元的互连线，相邻两个通孔单元由互连线相连，所述同一个子测试结构中的通孔单元包含的通孔数相同，所述互连线由分别位于相邻两金属层上的互连线组成，且上下两层互连线在通孔连接处有重叠区域，所述各子测试结构在通孔单元的通孔数彼此不相同，所述各子测试结构的互连线部分完全相同。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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