[发明专利]一种用于微机电系统监测的光纤探针在审
| 申请号： | 201911377636.7 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111089844A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 苑立波;杜佳豪 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/01;G01M11/00;G02B6/25;G02B6/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种用于微机电系统监测的光纤探针。其特征是：它由单模光纤1，大芯径渐变折射率光纤2，二元菲涅尔透镜3，待测物4，位移台5，光源6，三端口环形器7，光功率计8，计算机9组成。本发明可用于微机电系统的便携、非接触式无损监测，可广泛用于光纤传感等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微机 系统 监测 光纤 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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