[发明专利]一种用于微机电系统监测的光纤探针

权利要求书

1.一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是：它由单模光纤1，大芯径渐变折射率光纤2，二元菲涅尔透镜3，待测物4，位移台5，光源6，三端口环形器7，光功率计8，计算机9组成。所述的系统中光源6发出的光由环形器1#端口进入三端口环形器7，环形器2#端口输出光信号通过单模光纤1和大芯径渐变折射率光纤2进入二元菲涅尔透镜3。由于二元菲涅尔透镜3入射光有沿轴向色散的作用，光束通过二元菲涅尔透镜3会在透镜后的光轴处会聚成点。将被测物体4放在二元菲涅尔透镜3下的空间轴向位置，被测物体4可以通过位移台5改变其位置。光束照到被测物体4表面时会发生反射，被反射的信号经环形器2#端口进入三端口环形器7，从环形器3#端口输出，并由光功率计8接收。光功率计8接收到的数据传至计算机9监测处理。

2.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，大芯径渐变折射率光纤2也可以是无芯光纤。

3.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，二元菲涅尔透镜3也可以是二元达曼光栅、闪耀光栅或阵列光栅。

4.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，二元菲涅尔透镜3由飞秒激光微加工系统在大芯径渐变折射率光纤2纤芯端加工而成。

5.根据权利要求1所述的一种用于微机电系统监测的光纤探针，其特征是，二元菲涅尔透镜3的偶数环带刻蚀深度为0.56μm。