[发明专利]声波器件的制作方法及声波器件有效
| 申请号： | 201911370470.6 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111030631B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 廖珮淳 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例公开了一种声波器件的制作方法及声波器件，所述制作方法包括：形成覆盖第一反射结构的第一电极层；形成覆盖所述第一电极层和第二反射结构的保护层；其中，所述第二反射结构和所述第一反射结构在衬底上并列排布，所述第一反射结构位于所述衬底的第一区域，所述第二反射结构位于所述衬底的第二区域；形成覆盖所述保护层的第二电极层；其中，所述第二电极层的厚度与所述第一电极层的厚度不同；去除位于所述第一电极层上方的保护层及第二电极层，直至显露覆盖所述第一电极层。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
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