[发明专利]一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法有效
申请号: | 201911369716.8 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN111142587B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 李伟奇;蒲俊鹏;陈军;张传维;郭春付;刘世元 | 申请(专利权)人: | 武汉颐光科技有限公司 |
主分类号: | G05D13/62 | 分类号: | G05D13/62;G01N21/21;G01N21/25;G01N21/27;G01B11/00;G01B21/04 |
代理公司: | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人: | 谢洋 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: |
本发明涉及一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法,包括:步骤1、控制器同时输出驱动脉冲至第一电机与第二电机,将第一电机的编码器脉冲作为光谱仪的触发脉冲,并采集第一电机运转周期T、第二电机与第一电机的转速比m |
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搜索关键词: | 一种 旋转 补偿 穆勒 矩阵 椭偏仪 系统 控制 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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