[发明专利]一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法在审
| 申请号： | 201911353038.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111002497A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 冯震坤 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;B28D7/00 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 姬颖敏 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法；其特征在于：包括喷射浆液的喷头、收集所述浆液的液缸、储存废浆的第一储罐、将所述废浆过滤成清浆的过滤装置和储存所述清浆的第二储罐；所述液缸设置有连接所述喷头的第一管道、连接所述第一储罐的第二管道和连接所述第二储罐的第三管道；所述过滤装置的流入口通过第四管道连通所述第一储罐；所述过滤装置的流出口通过第五管道连通所述第二储罐。解决了现有方案造成的导致金刚线对硅材料切割能力的下降进而导致金刚线切割质量的降低、加工后期浆液硅粉含量过高导致硅片质量较差加工过程硅片质量起伏较大很难进行控制和无法对浆液进行再利用造成资源的浪费等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 切片机 浆液 处理 系统 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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