[发明专利]一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法在审

专利信息
申请号: 201911353038.6 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111002497A 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 冯震坤 申请(专利权)人: 无锡荣能半导体材料有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D5/00;B28D7/00
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 姬颖敏
地址: 214183 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 切片机 浆液 处理 系统 及其 工作 方法
【说明书】:

发明涉及一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法;其特征在于:包括喷射浆液的喷头、收集所述浆液的液缸、储存废浆的第一储罐、将所述废浆过滤成清浆的过滤装置和储存所述清浆的第二储罐;所述液缸设置有连接所述喷头的第一管道、连接所述第一储罐的第二管道和连接所述第二储罐的第三管道;所述过滤装置的流入口通过第四管道连通所述第一储罐;所述过滤装置的流出口通过第五管道连通所述第二储罐。解决了现有方案造成的导致金刚线对硅材料切割能力的下降进而导致金刚线切割质量的降低、加工后期浆液硅粉含量过高导致硅片质量较差加工过程硅片质量起伏较大很难进行控制和无法对浆液进行再利用造成资源的浪费等问题。

技术领域

本发明涉及浆液处理设施,具体涉及一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法。

背景技术

一般的,随着太阳能硅片切割技术的革新,太阳能光伏硅片切割生产过程由之前的普通切割钢线携带碳化硅游离磨料对硅材料进行切割打磨逐步变革为目前的由电镀金刚石线对硅材料进行切割打磨(金刚线切割)。在金刚线切割硅片过程中,需要在切片机加入250-350kg的纯水及一定比例的切割液(称为切割浆液),并进行混合均匀,然后通过泵输送到切割室中,其作用为:(1)冷却切割过程中产生的热量;(2)对切割过程起到润滑作用;(3)将切割过程中产生的硅材料粉末等及时携带走。在切割加工过程中,随着切割深度的增加,切割浆液中的硅材料粉末的比例会逐步上升,导致其在切割过程中所起到的冷却、润滑、分散硅粉等能力均逐步下降,并且会导致金刚线表面附着的硅粉数量增加。如何解决这个问题变得至关重要。

现有的方案,采用液缸内储存浆液,通过喷头喷射浆液。喷射后的浆液再回流到液缸内。当切片机加工结束后,对液缸内浆液进行整体更换。这样的方案存在以下问题:(1)液缸内浆液含有硅粉的数量由刚开切时的0%逐步增加至切割临近结束时的8%左右,会导致金刚线对硅材料切割能力的下降,进而导致金刚线切割质量的降低;(2)加工后期浆液硅粉含量过高导致硅片质量较差,加工过程中硅片质量起伏较大,很难进行控制;(3)无法对浆液进行再利用,造成资源的浪费。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明公开了一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法,以解决现有技术中导致金刚线对硅材料切割能力的下降进而导致金刚线切割质量的降低、加工后期浆液硅粉含量过高导致硅片质量较差加工过程硅片质量起伏较大很难进行控制和无法对浆液进行再利用造成资源的浪费等问题。

本发明所采用的技术方案如下:

一种用于切片机的浆液处理系统;

包括喷射浆液的喷头、收集所述浆液的液缸、储存废浆的第一储罐、将所述废浆过滤成清浆的过滤装置和储存所述清浆的第二储罐;所述液缸设置有连接所述喷头的第一管道、连接所述第一储罐的第二管道和连接所述第二储罐的第三管道;所述过滤装置的流入口通过第四管道连通所述第一储罐;所述过滤装置的流出口通过第五管道连通所述第二储罐。

进一步的技术方案为:所述喷头喷射所述浆液的一端设置有导流装置;所述导流装置包括导流板和储存所述浆液的存液槽;所述存液槽内浆液沿所述导流板扩散流动。

进一步的技术方案为:所述第一管道上设置有控住浆液喷射量的第一输送装置;所述第一输送装置设置于所述第一管道上靠近所述喷头的一端。

进一步的技术方案为:所述第二管道上设置有将所述液缸内浆液输送至所述第一储罐内的第二输送装置;所述第二输送装置设置于所述第二管道上靠近所述第一储罐的一端;所述第二管道上靠近所述液缸的一端设置有第一控制阀。

进一步的技术方案为:所述第四管道上设置有将所述第一储罐内废浆输送至所述过滤装置流入口的第三输送装置;所述第三输送装置设置于所述第四管道上靠近所述过滤装置流入口的一端;所述第四管道上靠近所述第一储罐的一端设置有第二控制阀。

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