[发明专利]一种等离子光刻胶装置在审
| 申请号： | 201911350967.1 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN110890267A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘向伟;刘善石 | 申请（专利权）人： | 昆山索坤莱机电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子光刻胶装置，包括外壳体、通水电极管路、通水极板组、绝缘的物料托架以及真空腔体，真空腔体设置于外壳体内，且真空腔体后部连接有集成式通水电极管路及通水套件，通水电极管路通过连接电缆与射频电源连接，通水极板组设置于真空腔体内；本发明的等离子光刻胶装置通水式电极板具有以下优点：1）可以有效地控制腔体内部温度，实现不同产品的处理要求；2）可以达到最佳的效果及处理均匀性，保证了处理良率的同时，并提高了处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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