[发明专利]一种生长石墨烯的悬挂与插片式石英舟及方法在审

专利信息
申请号: 201911343909.6 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN110937594A 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 邱锋;项金钟;吕文霞;申时立;黄涛;褚景豫;张婉;刘子睿;吕凤祺 申请(专利权)人: 云南大学
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 阳佑虹
地址: 650091 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明提供一种生长石墨烯的悬挂与插片式石英舟及方法,石英舟包括舟座和舟架,舟架包括上横架和/或下横架;上横架包括至少一根平行于舟座长度方向的第一横杆,和/或只是一根垂直于舟座长度方向的第二横杆;下横架包括至少两根平行于舟座长度方向的第三横杆,和/或至少两根垂直于舟座长度方向的第四横杆;成对的第三横杆中的两根第三横杆至少开设有一个插槽;利用这种石英舟进行垂直或顺气流悬挂式,垂直或顺气流插片式生长石墨烯。本发明有益效果为可实现石墨烯可控生长,石英舟底座焊接三根石英棒作撑架,推拉石英舟中不倾斜,保证样品位置不变化;利用悬挂与插片式生长石墨烯,避免石英载物台和金属衬底的大面积接触,生长高质量石墨烯。
搜索关键词: 一种 生长 石墨 悬挂 插片式 石英 方法
【主权项】:
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