[发明专利]曲率半径测量装置及其测量方法在审
| 申请号： | 201911338140.9 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111060029A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 梁凯;张小波;常正凯 | 申请（专利权）人： | 深圳市速普仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种曲率半径测量装置及其测量方法，所述曲率半径测量装置包括样品台、衍射光阵列产生模块和探测分析模块，通过衍射光阵列产生模块产生并向样品发射衍射光阵列，到达样品表面后，经过样品表面反射发出反射光阵列，探测分析模块接收所述反射光阵列，并根据接收到的反射光阵列的尺寸，获取样品的曲率半径。本发明利用衍射光阵列与光源距离不同则阵列大小不同的特性，设计了使用衍射光阵列测量曲率半径的数学模型，并基于该数学模型实现了一种结构简单、测量速度快，而且对激光器、传感器等硬件要求较低的曲率半径测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 曲率 半径 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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