[发明专利]一种类空气桥型源场板结构的金刚石场效应晶体管有效
| 申请号： | 201911337462.1 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111048581B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐跃杭;陈志豪;付裕;吴韵秋 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/40;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 韩雪梅 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种类空气桥型源场板结构的金刚石场效应晶体管。该金刚石场效应晶体管包括：衬底层、外延层、栅介质层、源电极、漏电极、栅电极、钝化层、源场板、空气层和支撑层，外延层位于衬底层之上，外延层上部两端分别设置源电极和漏电极，源电极和漏电极中间设置栅电极，栅电极与外延层之间设置栅介质层，栅介质层的两侧均设置钝化层，钝化层分别与源电极和漏电极接触，栅电极与源场板之间设置支撑层，空气层设置在钝化层和源场板之间。本发明能够减小栅源反馈电容和栅漏反馈电容，提高功率增益和工作频率，同时能提高击穿电压。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 空气 桥型源场 板结 金刚石 场效应 晶体管 | ||
【主权项】：
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