[发明专利]一种低压力的电容式触觉感测器及其制备方法有效
申请号: | 201911322955.8 | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN111352525B | 公开(公告)日: | 2023-03-17 |
发明(设计)人: | 黃嘉铭;刘文丹;傅丽;朱勇 | 申请(专利权)人: | 纳米及先进材料研发院有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G06F3/044 |
代理公司: | 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 44588 | 代理人: | 王琴;曹玉存 |
地址: | 中国香港新界沙田香港科学园*** | 国省代码: | 香港;81 |
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摘要: | 本发明提供了一种用以测量0.5kPa至20kPa触觉压力的低压力电容式触觉感测器,该感测器包含一个第一柔性电极层;一个第二柔性电极层;一个微图案化、不连续、柔性、在60秒或更短时间内紫外线固化的弹性纳米压印聚合物电介质层;以及一个屏蔽层分别位于所述电容式触觉感测器的所述第一电极层的上方和所述第二电极层的下方,以减少电磁干扰和电容干扰。本发明的电容式触觉感测器的压力感测范围为0.5kPa至20kPa、灵敏度大于0.12pF/kPa。本发明还提供了一种制备电容式触觉感测器的方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力 电容 触觉 感测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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