[发明专利]平面二自由度宏微复合定位系统及控制方法有效
| 申请号： | 201911321936.3 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111026166B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张宪民;毛广扬;林盛隆 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;G01B11/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄国亮 |
| 地址： | 510641 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了平面二自由度宏微复合定位系统及控制方法。其中，平面二自由度宏微复合定位系统，包括宏动台基准座、X轴宏动平台、Y轴宏动平台以及具有X轴激光发射器和Y轴激光发射器的激光干涉仪；XY轴微动平台，通过四组相同的柔性铰链安装在Y轴宏动平台上，XY轴微动平台上设有驱使柔性铰链变形使XY轴微动平台运动的压电陶瓷和用于检测压电陶瓷位移的电容传感器；反射镜安装架具有X轴反射镜和Y轴反射镜；运动控制卡，用于接收XY轴微动平台的位置信息并通过压电陶瓷驱使XY轴微动平台移动，运动控制卡通过压电陶瓷驱动器控制压电陶瓷运动。本发明具有采样频率高、测量精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 自由度 复合 定位 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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