[发明专利]应用于真空镀膜设备中的插板阀在审

专利信息
申请号: 201911318945.7 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN110873198A 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 高文波;李小彭 申请(专利权)人: 广东生波尔光电技术有限公司
主分类号: F16K3/02 分类号: F16K3/02;F16K3/316;F16K31/04;C23C14/22
代理公司: 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 代理人: 石仁
地址: 528400 广东省中山市板芙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请属于管道插板阀的技术领域,尤其涉及应用于真空镀膜设备中的插板阀。包括阀壳体、位于阀壳体内的阀芯机构以及驱动所述阀芯机构在阀壳体内运动的驱动机构,通过驱动机构带动阀芯机构在阀壳体内的移动,实现对管道连接口的开口大小调节,从而实现流量控制,而且在需要封堵时,通过活动支撑架改变阀板的运动方向,使其顶至一侧的管道连接口上实现封止,其即能调节流量,又能实现通止,使得插板阀的应用更为广泛,符合生产的需求,而且密封效果好。
搜索关键词: 应用于 真空镀膜 设备 中的 插板
【主权项】:
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