[发明专利]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201911311621.0 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110868682B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘兵 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266061 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MSMS麦克风，包括基板；开口端与基板密封固定围成第一封装结构的第一壳体；位于第一封装结构内的包括有平板电容器结构的MEMS芯片，平板电容器结构与第一壳体之间形成第一腔体；以及位于第一壳体外侧的且开口端与基板密封固定围成第二封装结构的第二壳体；所述第一壳体外壁表面与第二壳体内壁表面之间留有间隔距离，所述第一壳体与第二壳体之间形成第二腔体；所述第一壳体上包括有若干贯穿所述第一壳体内外壁表面的透声孔，所述透声孔将第一腔体与第二腔体连通共同形成呈封闭结构的麦克风后声腔；所述基板上包括有用以将MEMS芯片的一侧与外界连通的声孔。该MEMS麦克风可有效增大产品的后声腔，提高产品的灵敏度及SNR等声学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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