[发明专利]掩膜板组件及一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201911308846.0 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111020478B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 邓江涛;丁渭渭;徐鹏;赵钰;王玉 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 一种 设备 | ||
【主权项】：
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