[发明专利]掩膜板组件及一种蒸镀设备

说明书

本发明涉及一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。

技术领域

本发明涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种掩膜板组件及一种蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode)屏因其具有对比度高、能够自发光及柔性显示等优点而得到了越来越广泛的应用。目前，真空热蒸镀是制备OLED器件的一种行之有效的方法，在这种成膜方式中，Mask(掩膜板)是用于将有机材料精确蒸镀到设计位置的必备物品，通常由Frame(框架)和Sheet(掩膜条)两部分焊接而成，其中Frame起主体支撑作用，而Sheet用于使材料蒸镀到设计位置，其因蒸镀材料的不同一般又分为两种，一种是Open Mask(开口的金属掩膜板)，一种是FMM(精细金属掩膜板)。前者用于蒸镀可整面覆盖的材料，如空穴传输层、阴极等，后者用于蒸镀像素发光层，如R/G/B等层。

由于Frame并非刚体，上层Sheet的设计和张网方式对其下垂量和Frame的平坦度影响较大。当受限于Panel(面板)尺寸和玻璃排版而使得Mask在边缘位置不得不有较宽的区域时，Mask Sheet重力较大，下垂量也较大。若是为了保证Mask下垂量在规格内而使用较大的张网力，又会导致Frame变形翘曲严重，这些最终会导致实际蒸镀的膜层边界Shadow(阴影)较大，引起信赖性失效或显示不良。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种掩膜板组件及蒸镀设备，解决掩膜板边缘区域较大，由于重力大而下垂量大的问题。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种掩膜板组件，包括金属框架和设置于所述金属框架上的掩膜条，所述掩膜条包括开设有多个蒸镀孔的蒸镀区和位于所述蒸镀区四周的四个边缘区，至少一个所述边缘区上开设有多个通孔。

可选的，至少一个所述边缘区沿第一方向由外向内设置有第一子区域和第二子区域，所述第一子区域与所述金属框架连接，所述第二子区域设置有所述多个通孔，其中，所述第一方向为与相应的所述边缘区的延伸方向相垂直的方向。

可选的，至少一个所述边缘区上沿其延伸方向均匀设置有多个所述通孔。

可选的，所述通孔在平行于所述掩膜条的方向上的截面为第一矩形，所述蒸镀孔在平行于所述掩膜条的方向上的截面为第二矩形，所述第一矩形在第一方向上的长度与所述第二矩形在第二方向上的长度相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

可选的，一个所述边缘区上的所述通孔的数量与在第二方向上排布的一列所述蒸镀孔的数量相同，所述第二方向为相应的所述边缘区的延伸方向。

可选的，还包括用于遮挡所述通孔的遮挡条，所述遮挡条设置于所述掩膜条面向所述金属框架的一侧，且所述遮挡条的两端固定于所述金属框架相对的两个边框上。

可选的，每个所述边框的内侧边缘处开设有凹槽，所述遮挡条的两端固定于所述凹槽内，所述遮挡条与所述掩膜条接触的一面和所述边框与所述掩膜条连接的一面位于同一平面。

本发明还提供一种蒸镀设备，包括上述的掩膜板组件。

本发明的有益效果是：在不减小掩膜条边缘区宽度的前提下，通过在边缘区设置通孔，减小重量，减小掩膜条的下垂量，也减小了框架的翘曲量。

附图说明

图1表示相关技术中掩膜条的结构示意图；

图2表示本发明实施例中掩膜条结构示意图；

图3表示本发明实施例中掩膜板组件结构示意图；