[发明专利]一种基于图像识别的运动平台定位方法

摘要

一种基于图像识别的运动平台定位方法，包括如下步骤：在工艺芯片上设置阵列排布的单元图案；通过成像系统拍摄工艺芯片得到第一图像；将第一图像与基准图像对比计算得到第一偏转角度，驱动运动平台旋转第一偏转角度；通过成像系统拍摄工艺芯片得到第二图像；将第二图像与基准图像对比计算得到第一偏移量，驱动运动平台平移第一偏移量。由于在工艺芯片上设置尺寸较小的单元图案，通过具有放大倍率的成像系统进行拍照，再将拍得的单元图案与基准图像对比计算出工艺芯片的角度偏差和平移偏差，最后驱动运动平台和工艺芯片一同旋转和平移到达指定位置，完成视觉定位。本工艺芯片通过放大倍率的视觉成像对比，识别精度高，具有更高的定位精度。