[发明专利]一种晶圆键合机

摘要

本发明公开了一种晶圆键合机，其结构包括键合压力装置、立柱、操作台、液泵、液箱、键合定位装置、集尘箱、气泵，本发明具有的效果：通过键合压力装置形成的晶圆夹合定向输送结构下，能够使上晶圆稳定垂直向下输送，利用左晶圆限位架和右晶圆限位架形成的收缩扩张结构，能够对不同直径的晶圆达到平稳的固定推送效果，通过键合定位装置形成的晶圆清洁限位结构下，能够使上晶圆在键合压力装置的输送下准确达到下晶圆上方，在形成的清洁结构作用下，能够对上晶圆和下晶圆的键合面进行环绕清洁，并在清洁完毕后向下晶圆的键合面输出粘合剂，利用键合压力装置形成的外力作用，使上晶圆和下晶圆键合，能够避免晶圆在键合后表面出现杂质和多孔层结构。