[发明专利]一种垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 201911301550.6 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111029902A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 许聪基;张鹏;赖铭智;李阳 | 申请（专利权）人： | 苏州长瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/028 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 215024 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括上布拉格反射镜，设置于上布拉格反射镜上表面的欧姆接触层，以及与所述欧姆接触层电连接的上电极；所述欧姆接触层中部设置有用于激光出射的光窗；在欧姆接触层的上表面敷设有一层面积大于光窗面积并完全覆盖光窗的透明导电薄膜；所述上电极设置于所述透明导电薄膜上表面不遮挡光窗的区域，并通过所述透明导电薄膜与欧姆接触层电连接。相比现有技术，本发明技术方案可有效避免后制程对光窗处半导体材料厚度产生影响从而导致激光器批次之间性能不稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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