[发明专利]一种垂直腔面发射激光器

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器，包括上布拉格反射镜，设置于上布拉格反射镜上表面的欧姆接触层，以及与所述欧姆接触层电连接的上电极；所述欧姆接触层中部设置有用于激光出射的光窗；其特征在于，在欧姆接触层的上表面敷设有一层面积大于光窗面积并完全覆盖光窗的透明导电薄膜；所述上电极设置于所述透明导电薄膜上表面不遮挡光窗的区域，并通过所述透明导电薄膜与欧姆接触层电连接。

2.如权利要求1所述垂直腔面发射激光器，其特征在于，在该激光器表面由内向外依次设置有一层钝化膜和一层Al₂O₃膜，所述钝化膜覆盖除光窗与电极以外的区域，所述Al₂O₃膜覆盖该激光器表面所有区域。

3.如权利要求2所述垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述Al₂O₃膜的厚度为10nm～150nm。

4.如权利要求1所述垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述透明导电薄膜的厚度为10nm～50nm。

5.如权利要求1所述垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述透明导电薄膜为透明导电金属氧化物薄膜。

6.如权利要求5所述垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述透明导电金属氧化物薄膜为ITO膜或AZO膜。

7.如权利要求1所述垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述上电极为包围光窗区域的环状电极结构。