[发明专利]体声波谐振器在审
| 申请号： | 201911288488.1 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN112187206A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 李泰京;申兰姬;孙晋淑;庆济弘 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 钱海洋;李李 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器可包括：基板；谐振部，包括第一电极、压电层和第二电极，所述第一电极设置在所述基板上；所述压电层设置在所述第一电极上，所述第二电极设置在所述压电层上；以及种子层，设置在所述第一电极的下部。所述种子层可利用具有密排六方(HCP)结构的钛(Ti)或具有所述HCP结构的Ti的合金形成。所述种子层可具有大于或等于 |
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| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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