[发明专利]用于对容器进行涂覆尤其是等离子涂覆的设备和方法在审
申请号: | 201911282530.9 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN111334783A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 约亨·克鲁格 | 申请(专利权)人: | 克朗斯股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/517 | 分类号: | C23C16/517;C23C16/52;C23C16/40 |
代理公司: | 上海东信专利商标事务所(普通合伙) 31228 | 代理人: | 杨丹莉;李丹 |
地址: | 德国纽*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于涂覆物体(10)并且尤其是容器(10)的设备,其具有至少一个第一涂覆站和至少一个第二涂覆站(2、4),其中这些涂覆站(2、4)中的每一个均具有至少一个第一涂覆电极(22、42)和至少一个第二涂覆电极(24、44),以及在各情况下为涂覆电极(22、24)的至少其中之一供电的供给装置(6)。根据本发明,供给装置(6)具有用于产生交流电压和/或电压脉冲(P、P2、P4、P20、P40)的高频发生器装置(62),以及交流电压分配装置(64),所述交流电压分配装置(64)在各情况下将该交流电压和/或电压脉冲(P、P2、P4、P20、P40)分别分配至第一涂覆站(2)的至少一个电极和第二涂覆站(4)的至少一个电极,其中交流电压分配装置适于且旨在将该交流电压和/或电压脉冲(P、P2、P4、P20、P40)延时地分配至电极。 | ||
搜索关键词: | 用于 容器 进行 尤其是 等离子 设备 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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