[发明专利]电荷平衡器件及其制造方法在审
| 申请号： | 201911280574.8 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN112993008A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 周翔 | 申请（专利权）人： | 南通尚阳通集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/872;H01L29/78;H01L21/04 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电荷平衡器件，漂移区中包括一层以上的电荷平衡层；漂移区的导电载流子类型为第一导电类型；电荷平衡层包括：第一导电类型的第一外延层以及在第一外延层的选定区域中形成的多个第二导电类型掺杂的第一掺杂区；各第一掺杂区的结深小于第一外延层的厚度，各第一掺杂区之间具有间距；电荷平衡层内的第一外延层和各第一掺杂区电荷平衡，在漂移区承受反向偏压时电荷平衡层内的第一外延层和各第一掺杂区互相完全耗尽。本发明公开了一种电荷平衡器件的制造方法。本发明能降低器件的比导通电阻、开通能量损耗和开关动态损耗，能很好的适用于例如碳化硅等杂质不容易扩散的半导体材料形成的器件，工艺更易实现且成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 平衡 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通尚阳通集成电路有限公司，未经南通尚阳通集成电路有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911280574.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种果树安全过冬的方法
- 下一篇：前防撞梁及前防撞梁的制造方法
- 同类专利
- 专利分类
