[发明专利]一种水平分层的脊形光波导器件的有源区结构及制造方法有效
| 申请号： | 201911275436.0 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110955067B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 李淼峰;张宇光;王磊;肖希 | 申请（专利权）人： | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 孟欢 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平分层的脊形光波导器件的有源区结构及制造方法，涉及光通信器件技术领域，所述有源区结构包括两个左右分布的掺杂区，其中一个掺杂区注有P型杂质，另一掺杂区注有N型杂质，两个掺杂区的交界处为有源区结构的脊形波导中心线；每个掺杂区包括至少两个水平分布的掺杂单元，同一掺杂区内的不同掺杂单元的掺杂浓度不同，且两个掺杂区内的掺杂单元对应设置，对应设置的两个掺杂单元中掺杂浓度越高的掺杂单元的厚度越小。本发明提供的水平分层的硅基电光调制器的有源区结构，不仅具有较低的光学损耗，而且结构简单，成本较低，易于批量制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 分层 脊形光 波导 器件 有源 结构 制造 方法 | ||
【主权项】：
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