[发明专利]供电构造和等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201911273973.1 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111326397A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木康晴;内田阳平 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够使等离子体的面内分布均匀化的供电构造和等离子体处理装置。供电构造具备第1连接构件组和第1端子区域。第1连接构件组由多个连接构件构成，该多个连接构件以对配置于等离子体处理装置用的处理容器内的聚焦环施加偏置电位的方式沿着聚焦环的周向配置。第1端子区域为环状，该第1端子区域与多个连接构件电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 供电 构造 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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