[发明专利]一种基于高温瞬态热流测量的薄膜热流计及制作方法

摘要

本发明提供一种基于高温瞬态热流测量的薄膜热流计及制作方法，本发明结构包括：氧化铝陶瓷基底及设置在氧化铝陶瓷基底上的热电堆薄膜、氧化铝热阻层薄膜以及氧化锆保护层薄膜；热电堆薄膜包括铂铑6和铂铑30热电堆薄膜，由成对的铂铑6和铂铑30贵金属薄膜热电偶串联而成，热电堆薄膜和氧化铝热阻层薄膜共同组成薄膜热流计的热电堆功能薄膜；氧化铝陶瓷基底上开设有两个通孔，通孔内放置引线。本发明用铂铑6贵金属与氧化铝陶瓷基底一体化设计取代了导电银胶，避免了使用导电银胶所带来的引线端硬、脆，易脱落的弊端，同时对引线的固定化，避免了在高温热流震荡情况下的引线脱落的情况，具有结构尺寸小、响应时间快，测量精度高，便于装配等优点。