[发明专利]一种晶圆级微镜、光学窗口以及其制造方法在审
| 申请号： | 201911256483.0 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN113031253A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B1/14;G02B1/11;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种晶圆级微镜、光学窗口以及其制造方法。所述微镜包括：微镜镜体，所述微镜镜体包含一层或多层单晶硅器件层；光学框架，所述光学框架的一个主面与所述器件层键合；所述光学框架还包含光学窗口，所述光学窗口为凸窗结构，且具有第一倾斜面，所述第一倾斜面与所述光学框架的主面具有一夹角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆级微镜 光学 窗口 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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