[发明专利]一种基于MEMS的压电装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201911194701.2 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110971140B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;王保志;张成功;董璇 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | H02N2/06 | 分类号： | H02N2/06;H02N2/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS的压电装置，包括PZT基板和支撑基板，PZT基板上设有布置于内圈的驱动部、布置于外圈的固定部、以及与所述驱动部和固定部连接的引线线路；所述固定部和驱动部均为PZT材料，所述支撑基板上覆盖于驱动部和固定部上，支撑基板上与所述固定部对应的位置处设有连接凸起，支撑基板上与所述驱动部对应的位置设有驱动凸起，所述连接凸起与固定部固定连接，所述驱动凸起与驱动部固定连接。与现有技术相比，本发明具有形状可变、生产成本低、容易大批量生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 压电 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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