[发明专利]一种基于化学活化的石英玻璃低温直接键合方法在审
| 申请号： | 201911192289.0 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN112851145A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李刚;滕飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C03C27/06 | 分类号： | C03C27/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 郑伟健 |
| 地址： | 116023 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于化学活化的石英玻璃低温直接键合方法，其步骤包括：(1)利用化学试剂清洗抛光后的石英玻璃；(2)利用化学试剂对石英玻璃表面进行超声活化处理；(3)利用去离子水冲洗经过活化处理的石英玻璃，然后在水中将其直接贴合转移到鼓风干燥机中，利用重物施加一定压力，较低温度下进行预键合；(4)脱水键合，将鼓风干燥机温度升高，使得石英玻璃间实现脱水键合，自然冷却至室温，取出，得到永久键合的石英玻璃。该方法在非洁净室环境下进行，无需真空条件，仅利用化学试剂超声活化表面和低温条件实现石英玻璃的键合，大大节约了实验成本，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 化学 活化 石英玻璃 低温 直接 方法 | ||
【主权项】：
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