[发明专利]一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪

摘要

本发明提供了一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里‑珀罗干涉仪，包括宽带光源，环形器，传感头，光谱分析仪。其中传感头由单模光纤制成，其特征在于：用飞秒激光在单模光纤里刻蚀，得到六条平行反射镜，组成三组平行独立、不同尺寸的法布里‑珀罗腔，使得在纤芯中的入射光在纤芯中传播的入射光分别经过三组平行独立、不同尺寸的法布里‑珀罗腔产生干涉并反射回纤芯，形成单光纤并联式法布里‑珀罗干涉仪。由环形器接收来自宽带光源的光并传输至传感头，再将光返回至环形器，经由环形器传输至光谱分析仪，形成并联式法布里‑珀罗干涉仪。本发明具有制造简单、机械强度高和成本低等优点，具有很好的高温工作稳定性，可用于应力和高温测量。