[发明专利]一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪

权利要求书

1.一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪，包括宽带光源，环形器，传感头，光谱分析仪，其连接方式为：环形器输入端连接宽带光源，环形器反馈端连接光谱分析仪，环形器输出端连接传感头；其特征在于：所述的传感头，由飞秒激光在单模光纤纤芯内刻写六条平行反射镜形成的三组平行独立、不同尺寸的法布里-珀罗腔组成。

2.根据权利要求1所述一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪，其特征在于：所述的并联结构，使得在纤芯中传播的入射光分别经过三组平行独立、不同尺寸的法布里-珀罗腔产生干涉并反射回纤芯，形成单光纤并联式法布里-珀罗干涉仪。

3.根据权利要求1所述的一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪，其特征为：所述的单模光纤的纤芯直径和光纤直径分别为8.2μm和125μm。

4.根据权利要求1所述的一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪，其特征为：所述的三组平行独立、不同尺寸的法布里-珀罗腔长度分别为24μm、59μm、100μm。

5.根据权利要求1所述的一种基于光纤内平行反射镜的并联式法布里-珀罗干涉仪，其特征为：所述的反射镜长度和宽度分别为2μm和1μm。