[发明专利]气氛可控式小型反应装置

摘要

本发明揭示了一种气氛可控式小型反应装置，包括装置底座及固定设置于装置底座上的分子泵泵组，分子泵泵组固定连接有一根真空管路，真空管路的周侧开设有一用于与其他真空设备对接传递样品的对接口，真空管路上还固定连接有一用于将样品转移至其中进行化学反应的反应腔，反应腔内固定设置有一石英管，反应腔的内壁与石英管的外壁互不接触且二者之间的区域抽真空，石英管的外壁均匀缠绕有加热电阻丝。本发明可与其他超高真空系统相配合、应用于对不同气氛以及不同温度下基础反应及其产物的分析，反应气氛压力从10‑6 mbar至1个大气压间可调、反应温度从室温至600℃间可调，充分地满足了绝大多数高精度实验的实验需求。