[发明专利]一种稳定性高的多晶湿法黑硅制绒工艺

摘要

本发明涉及湿法黑硅电池制备技术领域，且公开了一种稳定性高的多晶湿法黑硅制绒工艺，具体步骤包括将多晶金刚线硅片经黑硅槽式机，过常规的初抛去损伤层，沉银挖孔，一步碱洗脱银处理后，再通过所配强化酸洗溶液进行处理，处理后经过扩孔，碱洗，酸洗，水洗，烘干，最后将制绒后的硅片，按照正常黑硅电池片生产工艺流程进行低压扩散，链式背面刻蚀，PECVD镀膜钝化，丝网印刷和烧结，最终进行效率测试和EL在线检测。该稳定性高的多晶湿法黑硅制绒工艺，缩短了原来实际生产中的清洗时间，增加生产的产能，同时也保证了电池外观和效率无异常。