[发明专利]涂布装置及涂布方法有效
| 申请号： | 201911172486.6 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111545381B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 富藤幸雄;大宅宗明;塩田明仁;铃木启悟 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05B13/04 | 分类号： | B05B13/04;B05B13/02;B05B15/555;B05B14/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抑制涂布不均的涂布装置及涂布方法。本发明的课题在于在通过涂布平台而一边使基板以上浮的状态移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置中抑制涂布不均，所述涂布平台包含朝向上方具有气体的喷出口的多个开口部与具有所述气体的抽吸口的多个开口部。涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域均在水平面内沿与移动方向正交的列方向排列沿着移动方向排列多个开口部而成的开口行而使基板上浮，在涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域中的至少一个中，针对每个开口行，构成开口行的多个开口部在列方向上分散配置。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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