[发明专利]涂布装置及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

涂布平台，包含具有朝向上方喷出气体的喷出口的多个开口部与具有抽吸气体的抽吸口的多个开口部，使基板上浮至所述多个开口部的上方；

基板移动部，使在所述涂布平台上上浮的所述基板沿移动方向移动；以及

喷嘴，对通过所述基板移动部而沿所述移动方向移动的所述基板的上表面供给处理液来进行涂布；并且

所述涂布平台具有位于所述喷嘴的下方的涂布上浮区域、在所述移动方向上位于所述涂布上浮区域的上游侧的上游侧上浮区域及在所述移动方向上位于所述涂布上浮区域的下游侧的下游侧上浮区域，

所述涂布上浮区域、所述上游侧上浮区域及所述下游侧上浮区域均在水平面内沿与所述移动方向正交的列方向排列沿着所述移动方向排列多个开口部而成的开口行而使所述基板上浮，

在所述涂布上浮区域中，多个所述开口行相对于所述移动方向不倾斜配置，

在所述上游侧上浮区域及所述下游侧上浮区域中，在多个所述开口行的各所述开口行中将所述开口部划分为三个排列组，各排列组沿与所述移动方向平行的方向排列，所述列方向上的各排列组的位置在与所述移动方向正交的方向相互不同。

2.一种涂布装置，其特征在于，包括：

涂布平台，包含具有朝向上方喷出气体的喷出口的多个开口部与具有抽吸气体的抽吸口的多个开口部，使基板上浮至所述多个开口部的上方；

基板移动部，使在所述涂布平台上上浮的所述基板沿移动方向移动；以及

喷嘴，对通过所述基板移动部而沿所述移动方向移动的所述基板的上表面供给处理液来进行涂布；并且

所述涂布平台具有位于所述喷嘴的下方的涂布上浮区域、在所述移动方向上位于所述涂布上浮区域的上游侧的上游侧上浮区域及在所述移动方向上位于所述涂布上浮区域的下游侧的下游侧上浮区域，

所述涂布上浮区域、所述上游侧上浮区域及所述下游侧上浮区域均在水平面内沿与所述移动方向正交的列方向排列沿着所述移动方向排列多个开口部而成的开口行而使所述基板上浮，

在所述涂布上浮区域中，多个所述开口行相对于所述移动方向不倾斜配置，

在所述上游侧上浮区域中，在多个所述开口行的各所述开口行中将所述开口部划分为三个排列组，各排列组沿与所述移动方向平行的方向排列，所述列方向上的各排列组的位置在与所述移动方向正交的方向相互不同，

在所述下游侧上浮区域中，在各开口行中将所述开口部划分为三个排列组，各排列组的列位置分别与上游侧上浮区域侧的列位置在与所述移动方向正交的方向不同。

3.一种涂布装置，其特征在于，包括：

涂布平台，包含具有朝向上方喷出气体的喷出口的多个开口部与具有抽吸气体的抽吸口的多个开口部，使基板上浮至所述多个开口部的上方；

基板移动部，使在所述涂布平台上上浮的所述基板沿移动方向移动；以及

喷嘴，对通过所述基板移动部而沿所述移动方向移动的所述基板的上表面供给处理液来进行涂布；并且

所述涂布平台具有位于所述喷嘴的下方的涂布上浮区域、在所述移动方向上位于所述涂布上浮区域的上游侧的上游侧上浮区域及在所述移动方向上位于所述涂布上浮区域的下游侧的下游侧上浮区域，

所述涂布上浮区域、所述上游侧上浮区域及所述下游侧上浮区域均在水平面内沿与所述移动方向正交的列方向排列沿着所述移动方向排列多个开口部而成的开口行而使所述基板上浮，

在所述涂布上浮区域中，多个所述开口行相对于所述移动方向不倾斜配置，

在所述上游侧上浮区域及所述下游侧上浮区域中，在多个所述开口行的各所述开口行中将所述开口部划分为三个排列组，各排列组沿与所述移动方向平行的方向排列，所述列方向上的各排列组的位置在与所述移动方向正交的方向相互不同，所述上游侧上浮区域与所述下游侧上浮区域隔着述涂布上浮区域为对称。