[发明专利]涂布装置及涂布方法

说明书

本发明提供一种抑制涂布不均的涂布装置及涂布方法。本发明的课题在于在通过涂布平台而一边使基板以上浮的状态移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置中抑制涂布不均，所述涂布平台包含朝向上方具有气体的喷出口的多个开口部与具有所述气体的抽吸口的多个开口部。涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域均在水平面内沿与移动方向正交的列方向排列沿着移动方向排列多个开口部而成的开口行而使基板上浮，在涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域中的至少一个中，针对每个开口行，构成开口行的多个开口部在列方向上分散配置。

技术领域

本发明是涉及一种一面使通过涂布平台而上浮的基板移动，一面对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置及涂布方法。再者，所述基板包括液晶显示装置或有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示装置等的平板显示屏(Flat DisplayPanel，FDP)用玻璃基板、半导体晶片(wafer)、光掩模(photomask)用玻璃基板、彩色滤光片(color filter)用基板、记录磁盘用基板、太阳电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、半导体封装用基板。

背景技术

在半导体装置或液晶显示装置等的电子零件等的制造工序中，使用对基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置。例如，专利文献1中所记载的涂布装置是在使基板自平台上浮的状态下一边使所述基板沿平台的长边方向移动，一边自喷嘴的喷出口对所述基板的上表面供给处理液而对基板的大致整体涂布处理液。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2018-43200号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

为了使基板自平台上浮，在平台上设置多个具有喷出气体的喷出口的开口部，自各喷出口向上方喷出高压气体，通过所述气体压力而使基板以水平姿势浮起。而且，配置于平台的宽度方向的两侧的基板移动部对在平台上浮起的基板进行保持并使基板沿平台的长边方向移动。在平台中的位于喷嘴的下方的区域中，为了高精度地规定喷嘴的喷出口与基板的上表面的间隔所谓的涂布间隙，在所述区域也设置多个具有混合存在于所述喷出口而吸入气体的抽吸口的开口部。更详细而言，多个开口部在平台的上表面呈矩阵状有规律地设置。由此，在喷嘴的下方，基板以近接于平台的上表面的状态例如几十微米程度的间隙稳定地上浮。

如此，在喷嘴的下方，基板与平台的上表面近接。因此，基板自平台受到热转印而容易产生温度变化。而且，开口部呈将平台的长边方向(基板的移动方向)设为行、将基板的宽度方向设为列的二维矩阵状配置于平台的整个上表面。因此，关于在平台的上表面沿长边方向移动的基板，在连续通过开口部的上方的条纹状的部位中，因喷出口或抽吸口的存在而成为相对较低的温度，另一方面，在除此以外的部位中，自平台强烈受到热转印而成为相对较高的温度。如此，自平台对基板的热影响在基板的宽度方向上偏移，从而产生温度不均。其结果，有时产生沿与基板的移动方向平行的方向延伸的涂布不均。

本发明是鉴于所述课题而完成的，其目的在于在通过涂布平台而在使基板上浮的状态下一边使所述基板移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布装置及涂布方法中抑制涂布不均的产生，所述涂布平台包含具有朝向上方喷出气体的喷出口的多个开口部与具有抽吸气体的抽吸口的多个开口部。

[解决问题的技术手段]