[发明专利]一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法在审
| 申请号： | 201911164978.0 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111020694A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 高智 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法，包括用于提取坩埚的提取组件，所述提取组件包括顶板、第一安装柱、竖板，所述顶板的下方平行设置有第一安装柱，第一安装柱和顶板之间通过两块竖板固定连接,所述第一安装柱为空心柱状，且第一安装柱内设置双轴电机，双轴电机的两根输出轴分别伸出第一安装柱的上、下两侧壳体、并连接有齿轮，且第一安装柱的上、下两侧均安装有与齿轮驱动连接的挤压机构,所述挤压机构包括活动板、压板，所述活动板为矩形板状，活动板上沿其长度方向开始安装孔，安装孔的一侧壁沿长度方向固定有齿板。本发明能够伸入坩埚内部与其内壁压紧接触，方便操作，能够稳定有效提取坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅热场 坩埚 辅助 器具 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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