[发明专利]一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法

说明书

本发明公开了一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法，包括用于提取坩埚的提取组件，所述提取组件包括顶板、第一安装柱、竖板，所述顶板的下方平行设置有第一安装柱，第一安装柱和顶板之间通过两块竖板固定连接,所述第一安装柱为空心柱状，且第一安装柱内设置双轴电机，双轴电机的两根输出轴分别伸出第一安装柱的上、下两侧壳体、并连接有齿轮，且第一安装柱的上、下两侧均安装有与齿轮驱动连接的挤压机构,所述挤压机构包括活动板、压板，所述活动板为矩形板状，活动板上沿其长度方向开始安装孔，安装孔的一侧壁沿长度方向固定有齿板。本发明能够伸入坩埚内部与其内壁压紧接触，方便操作，能够稳定有效提取坩埚。

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法。

背景技术

目前，由于有机硅独特的结构，兼备了无机材料与有机材料的性能，具有表面张力低、粘温系数小、压缩性高、气体渗透性高等基本性质，并具有耐高低温、电气绝缘、耐氧化稳定性、耐候性、难燃、憎水、耐腐蚀、无毒无味以及生理惰性等优异特性，广泛应用于航空航天、电子电气、建筑、运输、化工、纺织、食品、轻工、医疗等行业。

现阶段，可通过供氢组件、氩气、加热器和热场箱等部件之间的配合，并按照生产流程稳步进行，从而能很好的降低硅中的氧气含量，能有效的保证生产效率和正常质量。在上述过程中会用到石英坩埚、石墨坩埚等部件，其中，石墨坩埚主要成份组成为天然鳞片石墨与粘结剂，因此它有导热快、耐高温、热稳定性好、不与熔质起反应等优点，是有色金属熔铸器。但在高温强氧化气氛中使用极易氧化，因此在提供不同的热源时都应避免强氧化气氛，否则会降低其使用寿命。但随着生产工艺的发展，目前部分石墨坩埚外表有多层特质的釉层，可防止石墨氧化，增强坩埚的耐腐蚀性。

而在对较大的坩埚移动位置时，需要用到夹持装置将移动坩埚位置，但是，现有的夹持装置只能从外部对坩埚进行夹持，不便操作，并且现有的夹持器不便提取大型坩埚使用，为此，我们提出了一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多晶硅热场坩埚用辅助器具及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种多晶硅热场坩埚用辅助器具，包括用于提取坩埚的提取组件，所述提取组件包括顶板、第一安装柱、竖板，所述顶板的下方平行设置有第一安装柱，第一安装柱和顶板之间通过两块竖板固定连接。

所述第一安装柱为空心柱状，且第一安装柱内设置双轴电机，双轴电机的两根输出轴分别伸出第一安装柱的上、下两侧壳体、并连接有齿轮，且第一安装柱的上、下两侧均安装有与齿轮驱动连接的挤压机构。

所述挤压机构包括活动板、压板，所述活动板为矩形板状，活动板上沿其长度方向开始安装孔，安装孔的一侧壁沿长度方向固定有齿板，同侧的齿轮位于安装孔内、并与安装孔内壁的齿板啮合，活动板的末端固定有压板。

两个挤压机构内的活动板在同一方向上滑动连接于第一安装柱，两块活动板的末端的指向相对设置。

进一步的，所述竖板的底端向下延伸、并固定有第二安装柱，该第二安装柱与第一安装柱相同，其内同样设置有双轴电机，第二安装柱两侧同样设置有挤压机构。

进一步的，所述第二安装柱两侧的挤压机构内的两块活动板和第一安装柱两侧挤压机构内的两块活动板呈十字交叉设置，且两块竖板的底端均开设穿孔，所述穿孔供第二安装柱两侧挤压机构内的两块活动板穿出。

进一步的，所述顶板的侧面周向固定若干根连杆，所述连杆的末端均固定在同一块卡板上，所述卡板为环形板状，且卡板的底部内侧面开设有若干个凹槽，所述凹槽内通过弹簧固定连接有卡块，所述卡块的外端伸出凹槽。

进一步的，所述卡块的外端为上宽下窄的直角梯形块状。